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在現代科研和精密制造領域，我們常常需要對材料表面進行其的清潔。普通的水洗、酒精擦洗甚至超聲波清洗，有時都無法滿足要求，特別是當處理的對象是微小的芯片、精密的醫療...
[查看詳情]技術文章| Technical articles
等離子表面處理機(又稱等離子清洗機)是一種利用等離子體對材料表面進行清洗、活化和涂層處理的設備。其核心原理是通過高壓高頻能量激發氣體(如氧氣、氬氣等)產生低溫等離子體，其中包含高能電子、離子、自由基和中性粒子。這些活性粒子與材料表面發生物理轟擊和化學反應，實現表面改性。等離子表面處理機的核心作用與優勢：表面清洗：去除脫模劑、添加劑、油脂等有機污染物，以及灰塵、氧化物等無機雜質。表面活化：引入含氧極性基團(如羥基、羧基)，提高材料表面能，增強潤濕性和粘附力。表面涂層：通過等離子...
[查看詳情]應用案例
等離子清洗特點是不分處理對象的基材類型，均可進行處理，對金屬、半導體、氧化物和大多數高分子材料等都能很好地進行超清洗。
圖為PLUTO-T等離子清洗機對陶瓷基板上銀氧化層的清洗實例。
等離子清洗機可用于晶圓或者電路板表面的光刻膠去除，以及去除光學元件、半導體元件表面的光阻材料等。
圖為PLUTO-MD等離子去膠機對PCB板和硅片的去膠實例。
改善粘合力-用于光學元件、生物醫學、封裝領域等；
表面改性-用于高分子材料表面修飾、PDMS微流控芯片鍵合、玻璃等，增強表面粘附性、浸潤性、相容性；
圖為PLUTO-M對線路板、橡膠管和手機膜的表面改性實例。
等離子刻蝕是干法刻蝕中常見的一種形式，其原理是暴露在電子區域的氣體形成等離子體，電離氣體原子通過電場加速時，會釋放足夠的力量與表面驅逐力緊緊粘合材料或蝕刻表面。
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